國家實驗研究院台灣半導體研究中心(Taiwan Semiconductor Research Institute, TSRI)前身為「國家晶片系統設計中心(National Chip Implementation Center, CIC)」與「國家奈米元件實驗室(National Nano Device Laboratories, NDL)」兩單位。在半導體技術邁入3奈米以下的節點探索，以及人工智慧、量子電腦、下世代磁性記憶體、高速電腦、5G…等新興應用的快速崛起，面對歐美日韓等國的強勢挑戰，國內相關領域亟需更具整合性的研究優質環境以整體提昇人才培育品質，國家晶片系統設計中心與國家奈米元件實驗室在過去30 年為國內產學研所建立的先進半導體研究環境基礎上，依國際技術發展趨勢，於2019年元月起整併，以期打造國際一流學術與創新科技研發融合的半導體整合研究環境，維繫台灣半導體競爭力。

國家實驗研究院台灣半導體研究中心以CIC與NDL兩單位過去已建立的晶片設計與半導體製造強項為基礎，持續精進各項產學研界的研究服務工作，提供從元件、電路到系統整合的一條龍半導體驗證服務，建立半導體製造、封裝測試、IC設計、矽智財、系統整合等開放性資訊與服務平台，讓國內產學研團隊共用這些資源，縮短技術開發與驗證時間，避免資源重複投入，成為國內產學研在半導體研究的加速引擎，培育整合性高階實務人才。

1. 國家晶片系統設計中心：1992年推動「晶片設計製作中心」籌設專案計畫、1997年成立「國家晶片系統設計中心」、2003年改隸於「財團法人國家實驗研究院」、2019年與國家奈米元件實驗室整併。
   
   
2. 國家奈米元件實驗室：1988年推動「國家次微米元件實驗室」籌設專案計畫、1992年10級潔淨室正式運轉、1993年更名為「國家毫微米元件實驗室」、2002年更名為「國家奈米元件實驗室」、2003年改隸於「財團法人國家實驗研究院」、2019年與國家晶片系統設計中心整併。